提出了一种含有新型不规则形状的压力敏感膜的压阻式压力传感器,这种新型薄膜结构能够将整个膜面的应变聚集在四个局部区域内,从而提高传感器的灵敏度。惠斯通电桥被用来实现压强到电信号的转换,而电桥上的薄膜电阻刚好位于压力敏感膜片上的四个应变最大区域。实验测试表明,压力传感器能在3~129kPa压强范围内正常工作,灵敏度为27.34μV/kPa,迟滞为1.2%,精度为±2.348%FS。此外,还在压力敏感膜外的零应变区集成了一个温敏电阻RT作为温度传感器,仿真和测试结果表明,压强不会干扰温敏电阻的工作。采用开尔文四线法来测量RT与温度的关系,测试结果表明温度传感器能在16~113℃的温度范围内工作,灵敏度为2.55Ω/℃,迟滞误差为0.1%,精度为±0.145%FS。

为了满足超高速集成电路的需求,设计了一种高稳定性和快速瞬态响应的低压差线性稳压器。针对负载变化对频率稳定性产生影响的问题,设计了零极点追踪补偿电路,通过产生一个零点动态地追踪补偿输出极点,使电路在全负载下保持稳定;针对负载电流跳变引起输出瞬态变化的问题,设计了摆率增强电路,通过为功率管栅端寄生电容快速充放电,改善了负载瞬态响应与负载调整率。基于0.18μmCMOS工艺完成电路的设计,电路输出电流范围为1~100mA。仿真结果表明,在零极点追踪电路补偿后,各负载下的相位裕度均能达到80°以上,满足高稳定性的需求。负载电流在最大范围内以1μs跳变时,输出下冲电压为47mV,稳定时间为1.24μs;过冲电压为40mV,稳定时间为1.52μs,达到快速瞬态响应的需求。