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一种含有新型薄膜的硅基MEMS压力-温度集成传感器

发布于2022-8-5
来源电子元件与材料, 2022, 41(8): 822-826. DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2022.1783
作者陈果, 王江, 吴世海, 等.
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