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新型传感材料与器件专题
新型传感材料与器件专题
基于双层金属光栅结构的红外辐射调控方法研究
发布于
2022-8-5
来源
电子元件与材料, 2022, 41(8): 827-833. DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2022.0400
作者
吴元庆, 王婷, 李崎嫚, 等.
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一种含有新型薄膜的硅基MEMS压力-温度集成传感器
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