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Ti-Al-Si-N多层梯度防护涂层热响应性能研究

发布于2022-9-5

来源电子元件与材料, 2022, 41(9): 956-961. DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2022.0025

作者许创威, 杨丽红, 吴雁.

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