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石墨烯MEMS压力传感器Au/Sn共晶键合气密性封装

发布于2022-3-5

来源电子元件与材料, 2022, 41(3): 304-308. DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2022.1702

作者朱泽华, 王俊强, 陈绪文, 等.

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