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HfO2/SrTiO3全氧化物场效应晶体管栅极漏电性质研究

发布于2020-9-5
来源电子元件与材料, 2020, 39(9): 56-61. DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2020.0047.
作者杨潇, 肖化宇, 唐义强, 曾慧中, 张万里.
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