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基于流体填充微腔结构的柔性温度传感器件

发布于2020-8-5
来源电子元件与材料, 2020, 39(8): 13-18. DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2020.0257.
作者江家豪, 解晓宇, 潘泰松.
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