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Mist CVD生长的雾滴迁移与早期沉积研究

发布于2024-4-5
来源电子元件与材料, 2024, 43(4): 454-460. DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2024.1629
作者吴诗颖, 陈琳, 蒋少清, 等.
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