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CO2激光直写PI薄膜温度、应力场仿真与分析

发布于2023-5-5

来源电子元件与材料, 2023, 42(5): 560-567. DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2023.1629

作者张华忠, 李世琛, 钟勉, 等.

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