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磁控溅射制备 ZNO/ P-SI 多孔纳米薄膜异质结及其室温气敏特性

发布于2021-12-5
来源电子元件与材料, 2021, 40(12): 1184-1188. DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2021.0409
作者吴鹏举, 刘文强, 杨莹丽, 等.
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