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射频磁控溅射制备Mn 掺杂ZnO薄膜的结构和铁磁性能研究

发布于2021-3-5
来源电子元件与材料, 2021, 40(3): 234-238. DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2021.1549
作者阳生红, 蒋志洁, 张曰理, 等.
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