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双离子束溅射 Al2O3薄膜高温绝缘特性的研究

发布于2021-4-5
来源电子元件与材料, 2021, 40(4): 311-315. DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2021.1715
作者张丛春, 黄漫国, 梁晓波, 等.
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